Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Сборочное производство Полупроводниковое производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Карьера Политика конфиденциальности Сертификаты Пресс-центр Каталог оборудования Решения «под ключ» МЭМС ГИС Биочипы Фотоника Радиоэлектроника Силовая электроника СВЧ
Услуги и сервис Сервис и модернизация Запасные части: 4MICRO.RU Технология Обучение персонала Сервис-деск База знаний Каталоги и брошюры Статьи Технологии Вебинары Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка
Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Система электронно-лучевого испарения для НИОКР EBE-150R

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Система электронно-лучевого испарения для НИОКР EBE-150R Рабочая камера системы Держатель образцов Держатель пластин Источник электронно-лучевого испарения Результаты технологических процессов. Результат осаждения стека Ni/Ge/Au/Ti/Au
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Печать/PDF

EBE-150R — однокамерная система для осаждения тонких плёнок методом электронно-лучевого испарения. Позволяет наносить пленки металлов и диэлектрических слоёв на пластины диаметром 50÷150 мм. Разработана для нужд НИОКР и имеет малые габариты.

Особенности

  • Загрузка системы за 1 цикл: 1 × Ø 150 мм
  • Неравномерность: ≤ 5 % (для пластины Ø 150 мм)
  • Вращающийся подложкодержатель
  • Возможность установки ионного источника для предварительной очистки
  • Полностью безмасляная система откачки

Параметр Значение / описание
Материалы для напыления Ag, Al, Au, Cu, Sn, Ti, SiO₂, ITO и др.
Максимальный диаметр подложки До 150 мм
Загрузка подложкодержателя 1 пластина × Ø 150 мм
3 пластины × Ø 100 мм
Возможность обработки нестандартных образцов
Рабочая камера Камера из нержавеющей стали (SUS) с ручным открыванием фронтальной двери
Смотровое окно с заслонкой
Экраны из нержавеющей стали (SUS304)
Нагреватель подложки ИК-нагрев
Макс. температура: 350 °C
Источник электронно-лучевого испарения Источник питания с выходной мощностью: макс. 6 кВт
Револьверный механизм смены тиглей: 4-6 тиглей ёмкостью 7 см³ каждый
Контроль луча: цифровое управление разверткой
Контроль толщины слоёв Кварцевый датчик (QCM) и контроллер
Вакуумная система Криогенный или турбомолекулярный насос и сухой форвакуумный насос
Предельный вакуум < 5,0×10⁻⁷ Торр
Управление системой Управление при помощи ПК на базе Windows
ПО собственной разработки
Габаритные размеры (Ш × Г × В) 1010 × 1460 × 1790 мм


+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.
ПринятьНастроитьОтклонить