Автоматическая система молекулярно-лучевой эпитаксии MEpi-960A для пластин диаметром до 8"

MEpi-960A — экономичная, эффективная и высокопроизводительная производственная система молекулярно-лучевой эпитаксии, поддерживающая рост на пластинах диаметром до 8″. Оснащена системой мониторинга in-situ для контроля состояния роста в реальном времени, а также источниками большой ёмкости для проведения долгих процессов роста. По надёжности, стабильности и экономичности соответствует требованиям, установленным в Semi S2. По сравнению с MEpi-650A стоимость производства 4″ пластин снижается более чем на 40 %.

Особенности

• Проведение процессов эпитаксиального роста на одной 8″ пластине, возможность групповой обработки пластин 4×4″, 7×3″ и 14×2″
• Гибкая конфигурация для подключения различных источников, особая конструкция тиглей большой ёмкости и инжектора дают исключительные стабильность и равномерность потока при долгих процессах роста
• Возможность размещения до 10 различных адаптеров в загрузочном модуле и до 10 адаптеров в промежуточной (буферной) камере
• Полностью автоматизированные операции: перемещение образца, калибровка потока, эпитаксиальный рост и т. д.
• Обеспечение высокой стабильности в работе с несколькими образцами
• Оснащение дифрактометром быстрых электронов (RHEED), системой мониторинга потоков пучков (BFM) и анализатором остаточных газов (RGA)
• Дополнительные порты для установки оборудования in-situ мониторинга процесса
• Применение специально разработанных криопанелей, охлаждаемых жидким азотом, с расходом около 60 л/ч
• Компоненты, проходящие долговременные тесты на устойчивость для соответствия производственным требованиям