Система молекулярно-лучевой эпитаксии для серийного производства MEpi-1300L для пластин диаметром до 8"

MEpi-1300L — система молекулярно-лучевой эпитаксии для крупносерийного производства пластин диаметром до 8″. Оснащена системой мониторинга in-situ для контроля состояния роста в реальном времени, а также источниками большой ёмкости для проведения долгих процессов роста. Полностью автоматизированные операции обеспечивают легкий и надежный контроль за процессом. По надёжности, стабильности и экономичности соответствует требованиям, установленным в Semi S2.

Особенности

• Проведение процессов эпитаксиального роста на одной 8” пластине, а также возможность групповой обработки пластин 4×6”, 9×4”, 15×3”
• Возможность размещения до 10 различных адаптеров в загрузочном модуле
• Обеспечение высокой стабильности в работе с несколькими образцами
• Полностью автоматизированные ежедневные МЛЭ-операции: перемещение образца, калибровка потока, эпитаксиальный рост и т. д.
• Оснащение дифрактометром быстрых электронов (RHEED), системой мониторинга потоков пучков (BFM) и анализатором остаточных газов (RGA)
• Большое количество портов для установки оборудования мониторинга in-situ для улучшения и расширения системы
• Система с модульной конструкцией камер, занимающая меньше пространства по сравнению с похожими системами, поддержка двух модулей ростовой камеры, что значительно повышает производительность и позволяет проводить процессы роста несовместимых в одной камере материалов
• Удобное управление системой, простой и понятный интерфейс
• Оснащение системой защитных блокировок и функциями предотвращения неправильной работы
• Модульная многокамерная конфигурация с независимыми насосами и затворами для каждой камеры
• Простое и удобное обслуживание системы, обеспечивающее время безотказной работы системы