Система плазмохимического осаждения ULTECH PES Series (PECVD System)

Система PES Series предназначена для осаждения кремниевых соединений, оксидов металлов и диэлектриков

Функциональные возможности:

• газ вводится в технологическую камеру через газовпускной патрубок «душ» в верхний электрод с ВЧ-мощностью;
• напряжение пленки может контролироваться методами преобразования высоких/низких частот;
• контроль стехиометрического состава через режимы процесса;
• совместимость с пластинами от 50 до 200 мм;
• очистка камеры в процессе и по завершении.

Применение:

• осаждение поликремния;
• осаждение оксида кремния;
• осаждение нитрида кремния;
• осаждение оксидов металлов;
• осаждения диэлектриков.