Система двухстороннего магнетронного распыления без переворота ULTECH SPS-DS Series

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Система двухстороннего магнетронного распыления без переворота ULTECH SPS-DS Series

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Система SPS-DS Series предназначена для создания тонкоплёночных покрытий из различных материалов с двухсторонним напылением.

Функциональные возможности:

напыление Cr, Ti, Cu и других материалов;
однородность толщины (равномерность напыления) ±3%;
управление процессами на ПК;
2 нагревательных элемента: макс. 200 °С;
2 ионных источника;
регулирование расхода газа.

Держатель образцов	партия из 100 шт. размером 60×48 мм (25 держателей по 4 пластины на каждом)
Количество распылителей	макс. 6 шт. (многослойное покрытие)
Мощность ВЧ-источника	до 600 Вт с частотой 13,56 МГц с системой автосогласования
Источник постоянного тока	5 кВт; 2 комплекта
Предельный вакуум	≤ 7×10 — 7 Торр
Вакуумный насос	турбомолекулярный + роторный (опция криогенный, диффузионный)
Способы обработки (процессы)	очистка, нагрев и нанесение покрытий с обеих сторон
Неравномерность толщины покрытия	±3%

Система двухстороннего магнетронного распыления без переворота ULTECH SPS-DS Series

Функциональные возможности:

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование