Установка отмывки и сушки центрифугированием SRD-8-2

SRD-8-2 — установка отмывки и сушки центрифугированием для финишной очистки полупроводниковых пластин после различных технологических операций: травления, литографии, механической обработки. Процесс включает в себя вращение кассеты с пластинами в среде деионизированной воды для удаления частиц и химических остатков с последующей высокоскоростной сушкой центрифугированием. На финальном этапе для исключения образования водяного следа и ускорения процесса применяется продувка нагретым инертным газом (горячим азотом), что гарантирует кристальную чистоту поверхности перед следующей операцией передела.

Установка SRD-8-2 — это идеальное решение для производств, где требуется надежная и экономичная межоперационная очистка. Благодаря модульной конструкции установка может быть сконфигурирована с одной или двумя независимыми рабочими камерами, что позволяет гибко наращивать производительность участка без увеличения занимаемой площади. Использование двухкамерной версии фактически объединяет две установки в одном корпусе, обеспечивая беспрецедентную гибкость при планировании загрузки оборудования и возможность одновременной обработки разных партий.

Особенности

• Функция нагрева стенок рабочей камеры
• Функция подачи горячего азота
• Функция экстренного отключения питания
• Функция мониторинга сопротивления воды
• Режим экономии азота
• Рециркуляция воды
• Система нейтрализации электростатического заряда