Автоматизированная система сварки пластин для подложек 200-300 мм EVG GEMINI®

Сварка пластин — это технология, сочетающая в себе системную интеграцию и передовые возможности по корпусированию. В частности, формирование 3D-многоуровневой структуры сваркой пластина-к-пластине — это новая архитектура и технология, разработанная для преодоления ограничений существующих технологий «система в едином модуле» (SIP) и «интегральная система» (SOC). Она позволяет создавать более мелкие форм-факторы, снижая энергопотребление или увеличивая плотность интеграции. Помимо основных применений могут быть использованы и другие, предназначенные для крупносерийного производства, например, корпусирование составных полупроводников.

В зависимости от конечного применения устройства и функциональности интерфейса сварки требования к технологии процесса сваривания различаются:

• сварка металлов (Cu-Cu и Cu-Sn-Cu), прямая сварка оксидов, сварка полимеров и гибридная сварка (металл-оксид или металл-полимер) для формирования многоуровневой структуры интегральной схемы;
  
• УФ-сварка, буферная сварка и прямая сварка оксидов для изготовления монолитных интегральных схем;
  
• сварка стекловолокна, анодная сварка, соединение эвтектикой и сварка металла (Al-Al) для улучшенного корпусирования.
  

Система GEMINI^® от EVG предназначена для удовлетворения всех передовых требований к сварке в высоковольтном режиме со строгим контролем и разделением процессов, модульным проектированием, субмикронной точностью выравнивания, высокой производительностью и надежностью.

GEMINI^®FB 300 с FOUP-системой для четырех предпроцессных модулей

Уникальные особенности

• SmartView^® — совмещение «лицо-к-лицу»
  
• Возможность использования совмещения по задней стороне, просвечивающего и ИК-совмещения
  
• Оптическое совмещение центр-к-центру (опция)
  
• Возможность временной сварки для утонения пластин
  
• Специализированная высокая пропускная способность для вплавления SiO2, Cu-Cu-диффузионная сварка и полимерная сварка
  
• Модульная конструкция с системами загрузки
  
• Гибкость разрабатываемой конфигурации для технологий совмещения платина-к-пластине и кристалл-к-пластине
  
• Сила прижима до 100 кН
  
• Легкая очистка и техническое обслуживание благодаря быстрому доступу к камерам сварки
  
• 1 класс (в соответствии с US FED STD 209E) мини-окружающей среды благодаря разделенным системам подачи пластин до и после сварки
  

Для загрузки, выгрузки и транспортировки совмещенных и сваренных пар пластин используются универсальные держатели, которые позволяют настроить систему для специальных применений.

Управление системой происходит с помощью интерфейса на основе ОС Windows. Используются различные степени контроля доступа для разных пользователей (оператор, инженер, администратор). Многопользовательский режим позволяет создавать индивидуальные маршруты. Процессы загрузки, совмещения, сваривания и разгрузки пластин полностью программируются. Контроль процесса передачи данных обеспечивается мониторингом в реальном времени и сбором данных, а также простым редактированием готовых маршрутов. Изображения могут быть сохранены вместе с идентификаторами пластин для последующей справки.

Возможности модульного дизайна