Система проекционной литографии Nikon NSR-S206D

Nikon NSR-S206D — литографический сканер (stepper), использующий излучение KrF-эксимерного лазера с длиной волны 248 нм. Установка проецирует изображение с фотошаблона на кремниевую пластину с 4-кратным уменьшением, обеспечивая формирование структур с критическим размером (разрешением) до 110 нм. Предназначена для массового производства полупроводниковых приборов.

В современном производственном ландшафте NSR-S206D обретает второе дыхание как оптимальное решение для экономически эффективного выпуска продукции по специальным техпроцессам. Установка предлагает идеальный баланс между высочайшей надежностью и стабильностью процесса.

Архитектура системы, от мехатроники до оптики, известна своей исключительной стабильностью и низким временем простоя. Многие установки, введенные в эксплуатацию более 15 лет назад, продолжают стабильно работать на производственных линиях по всему миру.

Особенности

• Разрешение: 110 нм
• Изменяемая апертура: 0,67 — 0,82
• Источник излучения: KrF 248 нм
• Работа с пластинами до 200 мм
• Точность наложения слоев: ≥20 нм
• Производительность: ~150 пл./час