Установка двухсторонней шлифовки-полировки DSLP1100

DSLP1100 — установка для высокоточной и стабильной двухсторонней шлифовки и полировки пластин. Благодаря использованию различных вариаций шлифовальных дисков, а также абразивных суспензий (в т. ч. химически активных для проведения химико-механической полировки) система подходит для двухсторонней обработки пластин и изделий из широкого спектра полупроводниковых и иных материалов, требующих обработки с высокой степенью качества поверхностей.

Особенности

• Пневматическая система прижима с пропорциональным клапаном для точного контроля давления
• Четыре независимых привода: для верхнего и нижнего шлифовальных дисков, а также для солнечной и коронной шестерён
• Адаптация системы для различных процессов шлифовки или полировки пластин, в том числе благодаря опции оснащения деталями из химически стойких материалов
• Планетарные держатели пластин/заготовок (сепараторы) с возможностью конфигурации в соответствии с потребностями заказчика
• Система контроля поверхности шлифовального диска
• Конфигурация с повышенной устойчивостью к химическим реактивам по запросу