Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Сборочное производство Полупроводниковое производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Карьера Политика конфиденциальности Сертификаты Пресс-центр Каталог оборудования Решения «под ключ» МЭМС ГИС Биочипы Фотоника Радиоэлектроника Силовая электроника СВЧ
Услуги и сервис Сервис и модернизация Запасные части: 4MICRO.RU Технология Обучение персонала Сервис-деск База знаний Каталоги и брошюры Статьи Технологии Вебинары Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка
Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Система магнетронного распыления с групповой горизонтальной загрузкой подложек UL-BMS

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Система магнетронного распыления с групповой горизонтальной загрузкой подложек UL-BMS Рабочая камера Рабочая камера Рабочая камера под подложкодержателем Внешний вид магнетрона Результаты технологических процессов. Осаждение ZnO Результаты технологических процессов. Осаждение Cu (Шероховатость слоя Rms 7,2099 Å)
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Печать/PDF

UL-BMS — однокамерная система для осаждения тонких плёнок материалов методом магнетронного распыления мишени. Позволяет наносить плёнки металлов и диэлектрических слоёв. Возможно применение установки для формирования проводящих и изоляционных слоёв, напыления отражающих и антибликовых оптических покрытий и др. Работает с групповой загрузкой пластин.


  • Материалы осаждения: Ti, Ni, Au, Ag, Al, Cu, оксиды металлов, нитриды металлов и т. д.
  • Продувка и вентиляция камеры
  • Автоматическое открытие крышки камеры для загрузки подложек
  • Ручная загрузка/выгрузка подложек
  • Размеры подложек и производительность:
    • пластины Ø 100 мм: макс. 12 пластин / цикл
    • подложки размером 60 × 48 мм, макс. 40 подложек/цикл
    • работа с фрагментами пластин
  • Неравномерность осаждения плёнок: ≤ ± 5 %
  • Подложкодержатель с вращением и нагревом. Максимальная температура нагрева подложек: 500 ℃
  • Источник постоянного тока для осаждения мощностью до 3 кВт. Возможность установки источника с импульсной подачей или ВЧ-источника
  • Количество магнетронов: до 4 шт. диаметром 150 мм
  • Возможность установки источника для предварительной плазменной очистки пластин: 13,56 МГц, мощностью 600 Вт с устройством автоматического согласования
  • Рабочие газы: Ar, O2, N2
  • Вакуумная система рабочего модуля — турбомолекулярный и безмасляный форвакуумный насосы. Опционально возможна установка криогенного насоса
  • Предельный вакуум: 5,0×10-7 Торр
  • Система автоматического контроля давления (APC)
  • Полностью автоматический процесс напыления с контролем параметров при помощи компьютера


1Лист запросов
В лист запросов →
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.
ПринятьНастроитьОтклонить