Система магнетронного распыления кластерного типа SPS ULTECH MC Series (Multi Chamber Sputter System)

Система SPS MC Series предназначена для создания тонкоплёночных покрытий из различных материалов. Отличается гибкой конфигурацией, возможностью работы со сложными полупроводниковыми структурами и кварцевыми устройствами, точным контролем параметров нанесения плёночного покрытия, лёгким техническим обслуживанием.

Применение:

• нанесение покрытий из металлов и диэлектриков;
• нанесение покрытий из сплавов и интерметаллических соединений;
• нанесение параллельных и антипараллельных тонких магнитных пленок;
• чередование проводящих, полупроводниковых и изоляционных слоев;
• нанесение светоотражающих и антибликовых покрытий;
• нанесение оптоэлектронных пленок;
• реактивное распыление для твердых покрытий.