Установка плазменной очистки (10 литров)

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Установка плазменной очистки (10 литров)

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Установка для плазменной очистки поверхности при мелкосерийном, R&D-производстве, лабораторных исследованиях широкой номенклатуры микросхем, электронных компонентов и различных изделий.

Сниженная температура процесса очистки до 60 С, защищающая поверхности материалов от тепловых повреждений
ВЧ-генератор с рабочей частотой 13,56 МГц и переменной мощностью от 0 до 600 Вт
Возможность замены ВЧ-генератора на НЧ- и СВЧ-генераторы с частотой 40 кГц/2,54 ГГц и переменной мощностью 0 – 200 Вт
Гибкая настройка поступающих в рабочую камеру газов 10 – 160 см³/мин, встроенная система из двух регуляторов
Интегрированное программное обеспечение, осуществляющее управление процессом и плазмой в реальном времени, запись процесса обработки, в том числе при удаленном доступе

Размеры камеры (Ш х Г х В)	220 х 260 х 200 мм
НЧ/ВЧ/СВЧ-генератор (на выбор)	40 кГц, 0-200 Вт 13,56 МГц, 0-200 Вт 2,54 ГГц, 0-200 Вт
Количество регуляторов газа	До 2
Насосы	Сухой
Габаритные размеры (Ш х Г х В)	650 х 550 х 440 мм
Масса	65 кг

Установка плазменной очистки (10 литров)

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование