Установка плазменной очистки (60 литров)

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Установка плазменной очистки (60 литров)

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Установка для плазменной очистки поверхности при производстве широкой номенклатуры микросхем, электронных компонентов и различных изделий при сохранении высокого качества техпроцесса и простоты эксплуатации.

Сниженная температура процесса очистки, защищающая поверхности материалов от тепловых повреждений
Гибкая архитектура электродов и полок-держателей
ВЧ-генератор с рабочей частотой 13,56 МГц и переменной мощностью от 0 до 600 Вт
Интегрированное программное обеспечение, осуществляющее управление процессом и плазмой в реальном времени, запись процесса обработки, в том числе при удаленном доступе

Размеры камеры (Ш х Г х В)	375 х 430 х 375 мм
Конфигурация электродов	Положительные и отрицательные полюса можно менять местами
Количество полок под электроды	6
ВЧ-генератор	13,56 МГц, 0-600 Вт 40 кГц, 0-1000 Вт
Количество регуляторов газа	До 4
Удаленный контроль	Управление процессом; управление плазмой
Насосы	Сухой
Габаритные размеры (Ш х Г х В)	900 х 900 х 1600 мм
Масса	500 кг

Установка плазменной очистки (60 литров)

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование