ПОИСК ПО САЙТУ
О компании
Демозал
Карьера
Политика конфиденциальности
Сертификаты
Пресс-центр
Каталог оборудования
Решения «под ключ»
МЭМС
ГИС
Биочипы
Фотоника
Радиоэлектроника
Силовая электроника
СВЧ
ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Печать/PDFUL-MultiMS — однокамерная система для осаждения тонких плёнок различных материалов методом магнетронного распыления мишеней. Позволяет наносить плёнки металлов и диэлектрических слоёв. Конфигурация системы предполагает одиночную загрузку пластин в рабочую камеру и позволяет проводить гибкую настройку технологических процессов за счет применения трёх настраиваемых магнетронов в одной камере.
Результаты технологических процессов. Осаждение Cr
- Производительность: одна пластина за цикл, возможность обработки фрагментов пластин
- Диаметр обрабатываемых пластин до 150 мм
- Неравномерность осаждения плёнок: ≤ ± 5 %
- Возможность установки вакуумного шлюза для загрузки пластин
- Установка различных типов магнетронов: ВЧ, постоянного тока и импульсного режима
- Количество магнетронов до 3 шт.
- Настраиваемое положение магнетронов
- Возможность совместной работы нескольких источников (co-sputtering)
- Заслонки для закрытия мишеней
- Затвор над держателем подложек
- Система вращения подложкодержателя и возможность изменения положения держателя по вертикальной оси
- Нагреваемый подложкодержатель: до 600 °С
- Возможность установки источника для предварительной плазменной очистки
- Рабочие газы: Ar, O2, N2
- Продувка и вентиляция камеры
- Вакуумная система рабочего модуля — турбомолекулярный и безмасляный форвакуумный насосы. Возможна опциональная установка криогенного насоса
- Предельный вакуум: 5,0×10-7 Торр
- Система автоматического контроля давления (APC)
- Полностью автоматический процесс напыления с контролем параметров при помощи компьютера
Запросить в один клик
Заказать звонок