Автоматическая система для прямой сварки пластин и пластин «кремний на изоляторе» EVG® 850

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

EVG®850 для обработки пластин диаметром до 200 мм

Модуль очистки мегазвуком с поверхностным излучателем

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Пластины «кремний на изоляторе» — это новый, многообещающий базовый материал для микроэлектронной промышленности для производства быстродействующих и более высокопроизводительных микроэлектронных устройств.

Сварка пластин — одна из ключевых технологий при изготовлении пластин «кремний на изоляторе», которая позволяет получать высококачественные монокристаллические кремниевые пленки на изолированных подложках. Благодаря модульной системе EVG^®850 автоматические системы сварки пластин «кремний на изоляторе» (совмещение пластин, предварительная сварка, очистка и ИК-контроль) объединяются в одно целое.

Таким образом, проверенный в промышленности производственный стандарт EVG850 обеспечивает высокопроизводительный и высококачественный процесс производства пластин «кремний на изоляторе» размером до 300 мм с беспористой структурой. EVG^®850 представляет собой универсальную систему, позволяющую использовать ее как в опытно-конструкторских и исследовательских целях, так и массовом производстве с возможностью интеграции в автоматические системы (EVG^®850 и GEMINI^®).

Функциональные особенности

Система предназначена для высокопроизводительного и высококачественного производства;
Предварительная сварка с совмещением по плоскости или по выемке;
Бесконтактная обработка обратной стороны;
Автоматический процесс передачи пластин «кассета-в-кассету» или «контейнер-в-контейнер»;
Станция ИК-контроля для повышения качества;
Очистка мегазвуком и щеткой;
Передовая система диагностики.

Технические характеристики	EVG^®850	EVG^®850	EVG^®850
Размеры пластины, мм	100 — 200	150 — 300	300 — 450
Модуль предварительной сварки: до двух на систему
Тип совмещения: плоскость к плоскости или выемка к выемке. Точность совмещения: X и Y: ±50 мкм, θ: ±0,1°. Сварочное усилие: до 5 Н. Позиция начала сварочной волны: гибкое — от края пластины до центра. Вакуумная система: давление 9×10-2 мБар, 9×10-3 мБар (опция с турбомолекулярным насосом).
Станция очистки: до двух на систему
Система очистки: открытая камера с защитой от брызг, центрифугой и чистящим манипулятором. Камера: изготовлена из полипропилена или пенополиуретана (опция). Зажимной патрон: вакуумный патрон (стандартная комплектация) и патрон для обработки кромок (опция), изготовленный из безионных металлов и чистых материалов; скорость вращения до 3000 об/мин с ускорением до 3000 об/мин за 5 с. Манипулятор для очистки: до 6 линий. Чистящая среда: деионизованная вода и другие чистящие среды (опция).
Модуль очистки мегазвуковым распылением (опция)
Частота: 1 МГц (3 МГц опция). Выходная мощность: 30-60 Вт. Скорость потока деионизованной воды: до 1,5 литра/мин. Эффективная площадь очистки: Ø 4,0 мм. Материал: политетрафторэтилен. Одно сопло охватывает весь размер пластины.
Модуль очистки мегазвуком с поверхностным излучателем (опция)
Частота: 1 МГц (3 МГц опция). Мощность: макс. 2,5 Вт/см2 активной площади (максимально 200 Вт). Скорость потока деионизованной воды: до 1,5 л/мин. Эффективная площадь очистки: треугольная форма, которая гарантирует однородность радиоизлучения на всей пластине за каждый поворот. Материал: нержавеющая сталь и сапфир. Размеры пластин, мм: 150/200, 200/300 — для двухзонной системы.
Модуль очистки щеткой (опция)
Материал: поливинилацетат. Программируемые параметры: скорость вращения пластины и щетки
Модуль ИК-контроля: один на систему
Видимый диаметр пластины, мм	до 200	до 300
Разрешение камеры, пикселей	570×485	1360×1024
Совместимость с системами EVG^®300 и EVG^®810
Опции
Миниокружающая среда 1 класса по US FED STD 209E
Возможность интеграции в ФАБ центры

Документация

Скачивание файлов доступно только авторизованным пользователям

Автоматическая система для прямой сварки пластин и пластин кремний на изоляторе EVG 850.pdf 1.027 Мб

Автоматическая система для прямой сварки пластин и пластин «кремний на изоляторе» EVG® 850

Функциональные особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование