Полуавтоматическая система сварки пластин EVG 520IS

Полуавтоматическая система сварки пластин EVG520^®IS обеспечивает полностью автоматическую сварку пластин с ручной загрузкой и выгрузкой. Система проста в управлении и обеспечивает высокую производительность. В нее входит встроенная станция охлаждение и хранилище для держателей и сваренных пластин.

EVG520^®IS является лучшим решением для научно-исследовательских и производственных задач, поддерживает все технологии сварки пластин с контролем температуры, электрического напряжения, равномерности контактного усилия и рабочей атмосферы, обеспечивает быстрое вакуумирование рабочей камеры, быстрый нагрев и охлаждение. Модульная конструкция сварочной камеры для 150 мм и 200 мм пластин обеспечивает совместимость с автоматической промышленной системой сварки пластин GEMENI^®.

Функциональные особенности

• Возможность исполнения в вариантах с одной рабочей камерой или с двумя
  
• Контактное усилие до 100 кН при температуре до 650 °С
  
• Система клиновой компенсации с малыми усилиями для наибольшего выхода годных
  
• Технологический маршрут, полностью совместимый с промышленными сварочными системами от EVG (GEMINI^®)
  
• Возможность оснащения камерой сварки высокого вакуума (давление до 10^-6 мБар)
  
• Конструкция с открытой камерой для быстрого переоснащения и обслуживания
  
• Графический интерфейс пользователя, основанный на ОС Windows^®
  
• Автоматический процесс сварки с открытием и закрытием сварочной камеры
  
• Встроенная система охлаждения для увеличения производительности
  

Поддерживаемые технологии сварки

• Анодная сварка
  
• Термокомпрессионная сварка (стеклоприпой, эвтектика, металлическая диффузия, сварка с использованием полимерного клея)
  
• Непосредственная сварка (SDB, SOI)
  
• Низкотемпературная сварка пластин с предварительно активированной плазмой поверхностью на установке EVG^®810
  
• Конфигурация для сварки стеков из двух и трех пластин.