SPV-100MWR-H — работающая в СВЧ-диапазоне вакуумная система плазменной обработки для предварительной обработки поверхностей перед операциями монтажа и разварки кристаллов.
Полноразмерная версия установок плазменной очистки микросхем, электронных компонентов и различных изделий для среднесерийных и крупносерийных производств.