Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Сборочное производство Полупроводниковое производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Карьера Политика конфиденциальности Сертификаты Пресс-центр Каталог оборудования Решения «под ключ» МЭМС ГИС Биочипы Фотоника Радиоэлектроника Силовая электроника СВЧ
Услуги и сервис Сервис и модернизация Запасные части: 4MICRO.RU Технология Обучение персонала Сервис-деск База знаний Каталоги и брошюры Статьи Технологии Вебинары Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка
Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Полуавтоматическая установка проявления фоторезиста NC200

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Полуавтоматическая установка проявления фоторезиста NC200 Типы распылительных сопел Типы распылительных сопел Сопло для налива проявителя «лужей» Устройство рабочей камеры
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Печать/PDF

NC200 — полуавтоматическая установка проявления фоторезиста для применений в НИОКР и малосерийных производствах МЭМС, КМОП-матриц (CIS) и других областях. Обладает разными типами сопел нанесения реагентов-проявителей, позволяя подобрать подходящую методику для лучшего удовлетворения требованиям процесса на пластинах до Ø200 мм.

Особенности

  • Автоматическое нанесение фоторезиста по рецепту
  • Работа с пластинами до Ø200 мм
  • Ручная загрузка/выгрузка пластин
  • Автоматическое дозирование химии из двух линий подачи
  • Конфигурируемые сопла для распыления реагентов (секторальное или коническое) или налива лужи
  • Вакуумная фиксация пластин на держателе
  • Линия подачи азота для сушки пластин

  • Две линии подачи химических реагентов
  • Поддерживаемые размеры пластин до Ø200 мм
  • Скорость вращения: 0 — 5000 об/мин
  • Точность поддержания скорости вращения: ± 2 об/мин
  • Ускорение шпинделя без нагрузки: 9000 об/с2
  • Количество этапов проявления до 10
  • Вакуум держателей пластин: —0,8 бар ~ —0,6 бар
  • Система управления: ПЛК с сенсорным дисплеем


1Лист запросов
В лист запросов →
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.
ПринятьНастроитьОтклонить