Полуавтоматическая установка отмывки пластин SCL–M

SCL—M — полуавтоматическая установка отмывки пластин, которая функционирует по принципу последовательной обработки полупроводниковых пластин в контролируемой среде с минимальным участием оператора. Технологический цикл начинается с ручного размещения кассеты с пластинами в загрузочной зоне, после чего автоматика обеспечивает их транспортировку через ряд технологических ванн. В герметичных камерах последовательно реализуются стадии химической обработки с использованием специализированных растворов и/или деионизованной воды, мегазвуковой очистки для удаления микрочастиц и финишной сушки горячим азотом или методом центрифугирования. Ключевая роль оператора сводится к контролю параметров процесса через сенсорную панель, выбору необходимой программы отмывки и наблюдению за датчиками системы, в то время как логика управления автоматически регулирует температуру, время выдержки и скорость вращения карусели.

Особенности

• Поддержка пластин размером до 200 мм
• Загрузка до 25 пластин в ванну
• Система фильтрации
• Транспортировка пластин автоматическим манипулятором
• Время процесса в зависимости от требований

Это оборудование становится идеальным балансом между доступной ценой ручного труда и технологичностью полной автоматизации при выводе производства на новый уровень эффективности. Внедрение полуавтоматической установки позволяет кратно повысить воспроизводимость результатов очистки, исключив влияние человеческого фактора на ключевых этапах обработки, что критически снижает процент брака. Высокая пропускная способность и возможность гибкой перенастройки режимов под различные типы загрязнений и типоразмеры пластин обеспечивают быструю окупаемость инвестиций. Это решение для тех, кто ценит надежность, компактность и простоту обслуживания, стремясь к стабильному качеству продукции без необходимости содержания высокооплачиваемого персонала для управления сложными автоматическими линиями.