Система обработки микроволновой плазмой SDV-D100MW

SPV-100MWR-H — работающая в СВЧ-диапазоне вакуумная система плазменной обработки для предварительной обработки поверхностей перед операциями монтажа и разварки кристаллов.

Свободно движущиеся электроны формируют устойчивую плазму, которая подаётся в рабочую камеру, где происходит очистка образцов, размещённых в кассете (магазине).

Микроволны с частотой 2,45 ГГц вводятся через диэлектрическое окно в стенке вакуумной камеры, обеспечивая стабильное и однородное облако плазмы.

Особенности

• Наличие разных держателей и фикстур для изделий нестандартной формы
• Безэлектродная конструкция — подходит для обработки тонких и гибких изделий
• Низкотемпературная плазма, не вызывающая термические повреждения изделий
• Исключение электростатических повреждений благодаря электрически нейтральной плазме
• Магнитожидкостный вращающийся механизм, обеспечивающий равномерность обработки
• Высокоэффективное и равномерное травление
• Поверхность рабочей камеры, покрытая изолирующим керамическим слоем, что улучшает эффективность очистки, равномерность и срок службы оборудования