Система измерения профиля поверхности и сортировки пластин WISP300

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Система измерения профиля поверхности и сортировки пластин WISP300

Измерение локального изменения толщины/плоскостности пластины

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Система WISP300 — высокоточное метрологическое решение для комплексного контроля геометрических параметров и толщины пластин на различных этапах механической обработки. Предназначена для работы с широким спектром современных материалов, включая кремний (Si), сапфир, стекло, танталат лития (LiTaO₃), арсенид галлия (GaAs), фосфид индия (InP), карбид кремния (SiC) и нитрид галлия (GaN) в состояниях после нарезки, шлифовки и полировки.

Для анализа геометрии пластин проводится измерение показателей плоскостности, изгиба, общего разброса толщины, а также локальных отклонений.

Особенности

Измерение толщины, прогиба, кривизны и напряжения пластин
Получение 2D/3D-карт измерения, PDF-отчеты
Возможность провести градацию пластин по заданным параметрам (толщина, кривизна, прогиб и др.) и отсортировать в соответствующие кассеты
Возможность полной автоматизации (SECS/GEM)

Диаметр пластин		150 / 200 / 300 мм
Измерение и вывод дынных
Измеряемые параметры		Толщина (THK) Изгиб (Bow) Коробление (Warp) Напряжение (Stress)
Параметры толщины		Общее изменение толщины (TTV) Локальное изменение толщины (LTV) Для параметра LTV требуется предварительная настройка
Параметры плоскостности		Общий показатель плоскостности (TIR) Локальный показатель плоскостности (LTIR)
Вывод данных		Результаты измерения могут быть экспортированы в .csv файл. Возможность пользовательской настройки формата сохранения и повторного сканирования
Технические характеристики
Диапазон толщины пластины		380 мкм ÷ 2000 мкм
Разрешающая способность измерения		0,028 мкм
Точность измерения		± 0,2 мкм
Воспроизводимость		± 1 мкм
Повторяемость измерения THK / Bow / Warp		≥ 95 %
Повторяемость измерения TTV / TIR		≥ 90 %
Требования к инфраструктуре
Электропитание	Фаза / Напряжение / Частота		Однофазный / 220 В / 50 Гц
	Сила тока		32 А
	Мощность		7 кВт
Вакуум	Давление		-70 кПа ÷ −90 кПа
Чистый сухой воздух	Давление		0,4 ÷ 0,6 МПа
	Конденсат		Отсутствие конденсата
	Расход воздуха		Макс. 6 л/мин, средний 4 л/мин
Температура	18 ÷ 26 ºС
Влажность	40 ÷ 70 %
Класс чистоты ЧПП	ISO 6

Система измерения профиля поверхности и сортировки пластин WISP300

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование