Система химического осаждения из газовой фазы с помощью нагреваемой проволоки ULTECH HW Series

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Система химического осаждения из газовой фазы с помощью нагреваемой проволоки ULTECH HW Series

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Система HW Series предназначена для создания тонкоплёночных кремниевых покрытий.

Применение:

поли-Si, n-Si, p-Si;
Si3N4 пленка;
покрытие против отпечатков пальцев.

Размер образцов и пропускная способность	одна пластина размером 4″ — 8″;
Предельный вакуум	≤ 5×10 — 3 Торр
Мощность постоянного тока для нити накала	3 кВт — 7 кВт
Напряжение смещения патрона	(+) / (-) 1 кВ, 30 мА
Нагрев пластины	макс. 300 °С (температура пластины)
Загрузочная камера	автономного типа (опция — робот)
Вакуумный насос	безмасляный (опция — турбомолекулярный насос)
Управление процессом	управление с ПК

Система химического осаждения из газовой фазы с помощью нагреваемой проволоки ULTECH HW Series

Применение:

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование