Автоматическая система совмещения и экспонирования EVG 6200

Новые технологии EVG, используемые при разработке систем совмещения, создают и устанавливают новые промышленные стандарты в двусторонней литографии и сварки пластин с совмещением. EVG остается лидером в данных областях благодаря непрерывной разработке новых поколений систем совмещения для внедрения передовых технологий литографии. Способные работать с пластинами и подложками размером до 300 мм, различной формы и толщины, системы совмещения EVG предназначены для производства МЭМС, создания столбиков припоя (бампов), высокоинтегрированных систем, а также полупроводниковых соединений, силовой электроники, светодиодов и фотовольтаики. Автоматизированные системы совмещения оптимизированы для обеспечения высокой производительности, длительной наработки на отказ и высокой стабильности.

Уникальные особенности

• Размеры пластин до 200 мм
  
• Нижний и верхний микроскопы высокого разрешения для двустороннего совмещения
  
• Работа с пластинами различных размеров с временем переналадки менее 5 мин
  
• Мягкое, жесткое, вакуумное контактное экспонирование и экспонирование с малым зазором
  
• Уникальная система компенсации уровня
  
• Интерфейс пользователя на базе Windows
  
• Возможность дооснащения от ручной до автоматической версии на месте
• Высокий уровень автоматизации (несколько кассет загрузи и выгрузки)
• Наличие конфигурации системы с повышенной точностью совмещения
  
• Программное обеспечение для контроля совмещения в реальном времени
  

Система совмещения EVG может быть оснащена автоматической системой загрузки и выгрузки с использованием кассет. В совокупности с опцией автоматического совмещения системы такого типа становятся полностью автоматическими с возможностью работы в ручном режиме. Система включает в себя возможность удаленной диагностики с доступом к функционалу и позволяет проводить отладку и мониторинг системы посредством локальной сети или сети интернет. В зависимости от уровня автоматизации EVG6200 могут быть оснащены как ручным, так и моторизованным шпинделем микрометра высокого разрешения для ручного, полуавтоматического и автоматического режимов совмещения.