Системы Moon Series предназначена для создания тонкоплёночных покрытий с обеих сторон пластины.
Держатель образца
поворотный, вращение на 180°
Количество магнетронов
4 шт. (многослойное покрытие)
Размер твердой маски
определяется заказчиком
Блок питания постоянного тока
3 кВт, импульсный
Предельный вакуум
≤ 5×10 — 6 Торр
Вакуумный насос
турбомолекулярный + роторный (опция: криогенный, безмасляный)
Управление
ручное (опция — управление с ПК или ПЛК)