Вертикальная трубная печь VTFS-2-ATM

VTFS-2-ATM – вертикальная трубная печь, оснащенная роботом для загрузки пластин из кассет. Позволяет проводить широкий круг термических процессов при атмосферном давлении. Разработана для крупносерийного производства.

Особенности

• Атмосферные процессы: диффузия, сухое и влажное окисление, отжиг
• Полностью автоматизированная загрузка пластин из кассет
• Один реактор из кварца или карбида кремния
• Рабочая температура до 1200 °С
• Неоднородность температуры в рабочей зоне реактора в пределах ±1 °С
• Нагреватель с пятью зонами контроля температуры
• Загрузка до 150 пластин в реактор
• Функция вращения лодочки (опция)

Параметры получаемых пленок

• Неравномерность толщины SiO2 (сухое окисление): ≤1,5 %
• Неравномерность толщины SiO2 (влажное окисление): ≤1,5 %
• Неравномерность толщины SiO2 (пирогенное оксидирование): ≤1,5 %
• Неравномерность поверхностного сопротивления (диффузия фосфора): ≤4 %
• Неравномерность поверхностного сопротивления (диффузия бора): ≤4 %