Системы очистки технологической тары AP&S CleanStep Parts

Установка CleanStep Parts предназначена для травления и чистки кассет, применяющихся в процессах ХОГФУП (PECVD) и диффузии (графитовых кассет, кварцевых компонентов и карбидокремниевых кассет).

Инновационная технология струйной очистки, применяемая в установке, позволяет оптимизировать время выполнения процесса с меньшим расходом химических реагентов по сравнению с погружным процессом.

Установка CleanStep Parts является эффективной вспомогательной системой для поточных линий производства полупроводниковой, микроэлектромеханической, микроструктурной и гелиоэнергетической продукции.

Преимущества

• Сниженный расход химических реагентов;
  
• Оптимальные результаты благодаря гарантированно равномерной очистке;
  
• Минимальные расходы на чистку одной кассеты благодаря реально низкому расходу химических реагентов в 10 раз меньше, чем в погружном процессе;
  
• Оптимизация эксплуатационных расходов в два раза по сравнению с погружным процессом благодаря очень малой площади основания и снижению расхода деионизированной воды;
  
• Максимальная безопасность оператора благодаря работе только с закрытой камерой. Загрузка и выгрузка изделий производятся только после полного ополаскивания технологической камеры. Также установлена система аварийной блокировки двери.
  
• Максимальная технологическая безопасность благодаря защите от переполнения и контролю выделяющихся газов;
  
• Модульная конструкция и большой срок службы компонентов обеспечивают высокую готовность к эксплуатации и малые потребности в техническом обслуживании;
  
• Удобный дисплей с сенсорной панелью обеспечивает удобство и простоту управления;
  
• Наличие дополнительных функций и возможностей, например, датчик проводимости для блокировки двери (только для установок для чистки кварцевых кассет).
  

Применение

Установка CleanStep Parts предназначена для травления и чистки кассет, применяющихся в процессах ХОГФУП (PECVD) и диффузии (графитовых кассет, кварцевых компонентов и карбидокремниевых кассет).

В стандартной конфигурации установка обеспечивает одновременную чистку двух графитовых или двух кварцевых кассет.

Инновационная технология струйной очистки, применяемая в установке, обеспечивает ряд преимуществ по сравнению с системами, использующими погружной процесс, например, оптимизированное время выполнения технологических операций, сниженный расход химических реагентов и другие указанные выше преимущества.

Дополнительные возможности

• Подъемник для сливного бака;
  
• Конструкция и материалы корпуса соответствуют стандартам FM;
  
• Датчик токсичного газа HF;
  
• Конструкция камеры может быть изменена в соответствии с типом и необходимым количеством одновременно очищаемых кассет;
  
• Держатель для кварцевых кассет для очистки кварцевых компонентов;
  
• Клапан для слива жидкости из каплеуловителя;
  
• Измерение удельного сопротивления;
  
• Печь для чистки носителей с ручной загрузкой (внешний модуль);
  
• Подготовительная емкость объемом 30 л для HNO3/HF/деионизированной воды;
  
• Отдельная установка для подачи использованного HF;
  
• Датчик токсичного газа NOx;
  
• Держатель носителей ACI для заднего травления пластин;
  
• Продувка азотом.