Система плазменного осаждения PD-Pro Plasma Deposition System

Система PD-Pro от Nordson March специально разработана для обеспечения современных производственных требований, в которых неравномерность обработки является ключом к успеху.

Система полностью автономна и требует минимальной производственной площади. Вакуумная система, рабочая камера, электроника управления и ВЧ-источник с системой питания расположены в одном корпусе. Полный доступ спереди и сзади обеспечивает удобство сервисного обслуживания. Откачной насос расположен на роликах, что удобно для его замены. Доступ с боковых сторон не требуется, что дает возможность экономить занимаемую производственную площадь. Система подачи газов встроена в основную конструкцию системы, обеспечивая удобство обслуживания и контроля.

Особенности и преимущества

• Импульсный ВЧ-генератор с рабочей частотой 13,56 МГц для улучшения процесса плазменной полимеризации пленок.
  
• Для осаждения покрытий используется система подачи газов или испарение подогретого жидкого мономера.
  
• Запатентованный технологический процесс обеспечивает превосходную неравномерность обработки и высокую производительность.
  
• Высокая производительность с максимальной гибкостью для производства.
  
• Обработка изделия большого размера при малой занимаемой производственной площади.
  
• Быстрый процесс обработки изделий (изделий/час) для удовлетворения современным требованиям.
  
• Возможность нанесения просветляющих покрытий.
  

Специфика применения технологии плазменного осаждения

Система PD-Pro от Nordson March включает в себя лучшие в отрасли технологии в сочетании с новыми технологическими разработками, основанными на 30-летнем опыте. Благодаря этому система представляет собой сочетание уникальной вакуумной технологий и технологии подачи рабочего газа, конструкции электродов и управления температурой. Тщательный баланс этих критических элементов конструкции и параметров рецептуры процесса обеспечивает превосходную работу системы, которая проводит процесс плазменного осаждения с наилучшей неоднородностью для ключевых применений. Система имеет компактный и удобный дизайн. Вертикальная или горизонтальная конфигурация загрузки и использование загрузочных тележек минимизируют время простоя, высокопроизводительный вакуумный насос и значительно улучшенные технологические процессы обеспечивают высокий уровень производительности. PD-Pro, оснащенная системой управления с сенсорным экраном, предоставляет множество возможностей управления и сбора данных. Неограниченное количество рецептов могут быть сохранены для быстроты переключения процессов плазменного осаждения от партии к партии. Защита паролем гарантирует отсутствие несанкционированных записей и изменений рецептов. Возможности системы PD-Pro дополнены низкой стоимостью владения.