Система прямого лазерного экспонирования iIGR-355

IGR-355 – система безмасковой литографии с расширенными возможностями для производства фотошаблонов, интегральных схем, МЭМС, микрооптики, различных сенсоров и прочих устройств с прецизионной структурой. Обладает высокой точностью и производительностью.

Применяется для задач, имеющих повышенные требования к точности совмещения слоев топологии, подходит как для НИОКР, так и для серийного производства.

Может комплектоваться лазерным интерферометром, обеспечивающим максимальную точность позиционирования рисунка, для создания комплекта фотошаблонов.

Особенности

• Высокая производительность
• Технология пространственной модуляции света на базе матрицы цифровых микрозеркал
• Возможность установки дифракционной оптики для создания периодических структур
• Возможность установки лазерного интерферометра
• Возможность экспонирования в градациях серого