Автоматическая установка обработки фоторезиста ATCD-300N

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Автоматическая установка обработки фоторезиста ATCD-300N

Фото процессов. Фоторезист: KMP-C7600(8cp) Толщина слоя: 0,87 мкм Неравномерность: 0,3 %

Фото процессов. Фоторезист: KMP-C8350(50cp) Толщина слоя: 5 мкм Неравномерность: 0,3 %

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

ATCD-300N — компактная автоматическая система для нанесения и проявления фоторезиста. Поддерживает до восьми процессных камер и 24 модуля подогрева с возможностью интеграции дополнительных модулей. Интеграция с тремя роботами обеспечивает эффективную передачу пластин и возможность работы в линии с литографом. Подходит для обработки пластин с проектными нормами 180 нм и более.

Особенности

Трехмерная перекрёстная конструкция для повышения производительности
Общая роботизированная система подачи, что уменьшает занимаемую площадь
Высокоточный насос для нанесения резиста с многоступенчатым клапаном
Горячая плита собственной разработки с 7-зонным контролем
Поддержка интерфейсов литографических систем
Повышенная согласованность процессов

Работа с пластинами: Ø 4 — 6 дюймов
Количество рабочих камер: 8
Количество модулей сушки: 24
Применяемые технологии: g-line, i-line, PI, Barc, KrF, ArF
Минимальная технологические нормы: 180 нм
Производительность до 120 пластин в час

Автоматическая установка обработки фоторезиста ATCD-300N

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование