Автоматическая установка обработки фоторезиста ATCD-300T

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Автоматическая установка обработки фоторезиста ATCD-300T

Фото процессов. Фоторезист: KMP-C7600(8cp) Толщина слоя: 0,87 мкм Неравномерность: 0,3 %

Фото процессов. Фоторезист: KMP-C8350(50cp) Толщина слоя: 5 мкм Неравномерность: 0,3 %

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

ATCD-300T — высокопроизводительная система для нанесения и проявления фоторезиста. Поддерживает до 12 процессных камер и 36 модулей подогрева с возможностью интеграции дополнительных модулей. Интеграция с пятью роботами обеспечивает эффективную передачу пластин и возможность работы в линии с литографом. Подходит для обработки пластин с проектными нормами 90 нм и более.

Особенности

Многоуровневая перекрёстная конструкция, снижающая загрязнение
Нанесение фоторезиста с помощью 12 форсунок для сложных технологических операций
Высокоточный модуль сушки с 13 зонами собственной разработки
Двухстанционный робот-манипулятор с трехмерным режимом работы без задержки
Поддержка модулей адгезионной обработки, обработки края пластины, инспекции или сушки пластины

Работа с пластинами: Ø 8 — 12 дюймов
Количество рабочих камер: 12
Количество модулей сушки: 36
Применяемые технологии: PI, i-line, Barc, SOG, SOC, KrF
Минимальная технологические нормы: 90 нм
Производительность до 120 пластин в час

Автоматическая установка обработки фоторезиста ATCD-300T

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование