12" Двухкамерная автоматическая установка быстрого отжига RTA-12AD

RTA-12AD – Автоматическая установка быстрого термического отжига с роботом-манипулятором для загрузки/выгрузки пластин предназначена для обработки кремниевых пластин диаметром до Ø12 дюймов , а также полупроводниковых материалов второго и третьего поколений, включая SiC, GaN, GaAs, InP и других типов подложек и эпитаксиальных структур.

Особенности

• Полностью автоматический режим управления. Робот автоматически загружает и разгружает пластины
• Загрузка из открытой кассеты
• Нагрев пластин с двух сторон
• Двухкамерная конфигурация, одна камера также может одновременно обрабатывать 18 пластин Ø4″, 8 пластин Ø6″ или 2 пластины Ø8″
• Диапазон температур отжига: 300°C~1000°C (Высокотемпературный тип по запросу заказчика с макс. температурой 1350°С).
• ПЛК на ОС Windows
• Скорость нагрева: ≤150°С/с
• Однородность температуры: ≤±0.5% (>500°С)
• Возможность контроля давления в камере, опция: турбомолекулярный насос для обеспечения более высокой степени вакуума
• Водяное охлаждение камер
• Линия азота для продувки камер
• Управление потоком газов с помощью РРГ, с 3-5 линиями рабочих газов..