Автоматическая система механического дебондинга AMDB-8

AMDB-8 — автоматическая система дебондинга пластин с сапфировых, кварцевых, стеклянных или кремниевых временных носителей. Выполняет механический дебондинг методом сдвига с предварительным нагревом и последующую очистку поверхности пластин. Обработка пластин диаметром до Ø200 мм (8″) осуществляется из кассет стандарта SEMI.

Особенности

• Модули для механического дебондинга и очистки поверхности пластин
• Контроль ключевых параметров процесса (температура плит, сила сдвига) обеспечивает воспроизводимость и минимизацию риска повреждения пластин
• Конструкция предотвращает перелив клея и исключает возникновение механических повреждений пластин во время процесса
• Автоматическая обработка пластин и оптимизированный цикл работы обеспечивают производительность до 8 пластин в час
• Удобный интерфейс программного обеспечения с возможностью задания рецептов, мониторинга параметров и аварийной сигнализации