Полуавтоматическая установка молекулярно-лучевой эпитаксии MEpi-450 для пластин диаметром до 3"

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Полуавтоматическая установка молекулярно-лучевой эпитаксии MEpi-450 для пластин диаметром до 3"

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

MEpi-450 – система молекулярно-лучевой эпитаксии для научно-исследовательских применений с ручным перемещением образцов. Имеет гибкую конфигурацию различных типов эффузионных источников, что позволяет проводить эпитаксиальный рост различных материалов и их стеков, а также исследовать структуры благодаря возможности интеграции систем in-situ измерений.

Особенности

Процессы эпитаксии на подложках диаметром до 3″
Двухосный магнитный манипулятор для совмещения функций подъема и телескопического движения подложкодержателя, что упрощает операции перемещения образца
Специально подобранная система откачки модулей для достижения сверхвысокого вакуума
Возможность размещения до четырёх различных адаптеров в загрузочном модуле

Диаметр камеры: 450 мм
Максимальный диаметр подложки: 3″
Максимальная температура нагревателя подложек: 1000 °С
Температурная стабильность нагревателя: ± 0,2 °C при 300 ⁰C
Максимальная скорость вращения подложек: 60 об/мин
Конфигурация источников — 10 шт.: 3×CF35, 7×CF63
Переходные фланцы: CF150
Температура предварительного нагрева (bakeout): 200 °С
Дифрактометр быстрых электронов (RHEED): 15 ÷ 30 кэВ
Анализатор остаточных газов (RGA): 0 ÷ 200 аем
Применение криопанелей, охлаждаемых жидким азотом с расходом около 15 л/ч
Опциональные модули:

ИК-лампа для модуля загрузки
CCD-камера для контроля процесса
система нейтрализации продуктов реакции
LED-система подсветки
станция для откачки модулей во время обслуживания на базе турбомолекулярного насоса (ТМН)
система мониторинга пучка методом атомно-абсорбционной спектроскопии (AASFM)
cистема контроля температуры при помощи термометрии сдвига края поглощения (BETM)