|
Модуль дозирования
|
|
Размер кассеты-носителя корпусов (ДхШ)
|
250–325 × 90—162мм
|
|
Точность позиционирования (3σ)
|
X/Y: ±10 мкм, Z: ±25 мкм
|
|
Повторяемость позиционирования (3σ)
|
X/Y: ±5 мкм, Z: ±10 мкм
|
|
Точность визуального совмещения
|
5 мкм
|
|
Точность дозирования материала
|
10 мг ±3%, 5 мг ±5%
|
|
Модуль монтажа крышек
|
|
Точность позиционирования (3σ)
|
X/Y: ±10 мкм, Z: ±25 мкм, U: ±0,1°
|
|
Повторяемость позиционирования (3σ)
|
X/Y: ±5 мкм, Z: ±10 мкм, U: ±0,05°
|
|
Точность визуального совмещения
|
5 мкм
|
|
Точность усилия прижима при монтаже
|
±10% (≈1 кг), ±5% (≥1 кг) (3σ)
|
|
Диапазон усилия прижима монтажного манипулятора
|
300 г — 10 кг
|
|
Точность позиционирования монтажной головы
|
±30 мкм (подложка ≈40 мм), ±50 мкм (подложка ≥40 мм)
|
|
Модуль горячего прессования
|
|
Диапазон давления прижима
|
200 г — 20 кг (до 50 кг в модели высокого давления)
|
|
Диапазон температур и точность поддержания
|
комнатная — 200 °C, < ±2,5 °C
|
|
Плоскостность прижимной пластины и блока
|
<20 мкм; отклонение между ними <50 мкм
|