Полностью автоматическая система для работы с химическими реагентами предназначена для работы с кислотами, щелочами и растворителями, применяющимися для производства полупроводниковой, микроэлектромеханической и микроструктурной продукции, а также для опытно-конструкторских разработок.
Преимущества
- Высочайшие стандарты безопасности;
- Низкие эксплуатационные расходы;
- Коэффициент непрерывной эксплуатации до 99,9 %;
- Возможность расширения;
- Малая площадь основания;
- Совместимость с другими распространенными системами;
- Соответствие стандарту whg19l.
Система для работы с химическими реагентами AP&S представляет собой ряд установок для смешивания, распределения и удаления химических реагентов. Полностью автоматическая система позволяет создавать продукцию, отвечающую всем необходимым требованиям. Каждая установка соответствует высочайшим стандартам безопасности и обеспечивает максимальную защиту рабочего места для жидкостной химической обработки. Установки специально сконструированы для тех областей промышленности, в которых они применяются, что означает соответствие отраслевым требованиям к чистоте и другим стандартам, действующим в полупроводниковой, микромеханической, гелиоэнергетической и других отраслях промышленности. Это гарантирует наилучшую стоимость владения. Компания AP&S International GmbH имеет многолетний опыт производства стандартной и специализированной продукции, от автономных модулей до готовых решений для производства полупроводниковой продукции.
Система для работы с химическими реагентами AP&S производится в следующих вариантах:
- Система распределения химических реагентов (CDS);
- Система смешивания химических реагентов (CMS);
- Система удаления химических отходов (CWS).
Общие характеристики систем CDS, CMS и CWS
- Корпус для барабанов/стандартных контейнеров IBC объемом 200 л или 1000 л;
- Насосы и трубы различных размеров;
- Фильтр;
- Роликовый пол;
- Сенсорный дисплей для управляющего по с отображением графической информации в реальном времени;
- Приемный поддон;
- Датчик отсутствия продукта;
- Автоматическое переключение на питание от ИБП.
Дополнительные возможности для CDS
- Конструкция с двумя барабанами с автоматическим переключением;
- Резервные насосы с автоматическим переключением;
- Резервные фильтры с автоматическим переключением;
- Насос и фильтр для ополаскивания;
- Быстросъемные соединители (от компаний as-fluid engineering или entegris);
- Емкость суточного запаса;
- Лекажный насос;
- Сканер штрих-кода;
- Датчик выхода газов;
- Защитные перчатки;
- Корпус из огнеупорных материалов (fm 4910);
- Уф/ик датчик возгорания с огнетушителем co2;
- Аналитические функции;
- Продувка азотом (n2).
Дополнительные возможности для CMS
- Автоматическая смесительная система;
- Для смешивания или разведения;
- Измерение концентрации;
- Автоматическое добавление компонентов;
- Емкости различного объема, в разном количестве и изготовленные из различных материалов.