Автоматическая система химико-механической полировки ACMP-200

АCMP-200 — полностью автоматическая система химико-механической полировки кремниевых пластин с кассетной загрузкой для задач крупносерийного производства. Оснащена встроенными модулями отмывки и сушки пластин после процесса ХМП, что предотвращает засыхание остатков суспензии на поверхности пластины при межоперационном хранении. Управление установкой осуществляется при помощи промышленного компьютера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение позволяет выполнять гибкую настройку технологических рецептов.

Особенности

• Автоматическая загрузка/выгрузка пластин
• Кондиционирование полировальной подушки
• 5-зонный пневматический прижим головки
• Система определения точки окончания процесса полировки (EPD)
• Встроенный модуль отмывки и сушки (щеточная отмывка, мегазвуковая отмывка, сушка азотом)
• Возможность дооснащения системой подачи суспензии и химреагентов с функциями мониторинга