Автоматическая система совмещения и экспонирования MA-300

MA-300 — полностью автоматическая система совмещения и экспонирования для высокопроизводительной работы с пластинами до Ø12 дюймов (в зависимости от конфигурации оснастки) и точностью совмещения до +/- 0,5 микрона. Система может быть настроена для работы с прозрачными пластинами.

Особенности

• Hg- или LED-источники экспонирующего излучения I-, G- и H-линий
• Загрузка и выгрузка пластин в двойных кассетах;
• Робот-манипулятор для работы с тремя пластинами одновременно
• Специальная конструкция манипулятора для перемещения утонённых или деформированных пластин
• По запросу: система двухстороннего (по обратной стороне) совмещения в инфракрасном (BSIR) или видимом (BSV) спектрах
• Система автопланаризации и компенсации клина
• Оснащение виброизоляцией