Система магнетронного распыления DSR468

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Результаты осаждения плёнки Al (стабильность сопротивления в течение 3 месяцев)

Результаты осаждения плёнки Al (однородность поверхностного сопротивления в зависимости от использования мишени)

Результаты осаждения плёнки Al (привнесённая дефектность)

Результаты технологических процессов. Параметры осаждения плёнок Ti (толщины плёнок и их неравномерность)

Результаты технологических процессов. Параметры осаждения плёнок TiN (толщины плёнок и их неравномерность)

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

DSR468 — система для осаждения тонких плёнок металлов, их соединений и диэлектриков методом магнетронного распыления мишени для МЭМС, IGBT, силовых устройств, LED и прочих полупроводниковых структур с возможностью подключения до четырёх процессных модулей.

Система загрузки	Загрузка открытых кассет
Модули	Один модуль загрузки, одна транспортная камера, до четырех рабочих модулей
Диаметр подложек	4, 6, 8 дюймов
Перемещение пластин	— Трехосевой вакуумный робот — Оси вращения X, Y, Z
Программное обеспечение	Основано на Windows
Система откачки	— Модуль загрузки: безмасляный форвакуумный насос — Транспортный и рабочие модули: криогенный насос
Линии подачи газов	До четырех линий
Материал подложек	Si, SiC, сапфир, стекло, GaAs, утоненные пластины
Предельное давление в камерах	— Шлюз загрузки: ≤ 5 ×10^-2 Торр — Транспортная камера: ≤ 3 ×10^-7 Торр — Камера распыления: ≤ 8 ×10^-8 Торр
Источники питания для магнетронов	— Источник постоянного тока до 20 кВт — Источник ВЧ до 3 кВт — Возможна установка источников с импульсной подачей
Используемые газы	O2, Ar, N2
Температура нагрева подложек	До 700 ⁰С
Скорость осаждения	0,1-100 А/с
Неоднородность толщины пленки	< ± 5 % (1σ)

Система магнетронного распыления DSR468

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование