ПОИСК ПО САЙТУ
О компании
Демозал
Карьера
Политика конфиденциальности
Сертификаты
Пресс-центр
Каталог оборудования
Решения «под ключ»
МЭМС
ГИС
Биочипы
Фотоника
Радиоэлектроника
Силовая электроника
СВЧ
ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
Печать/PDFUL-CMS — однокамерная система для осаждения тонких плёнок материалов методом магнетронного распыления мишени на подложки из ситалла и поликора размером 48 × 60 мм. Позволяет формировать металлические плёнки тугоплавких и резистивных металлов (РС-3710, РС-5406, V, Cr, Ni, Cu, NiCr/V/Ni, Ni-Au и др.).
- Производительность: 64 подложки размером 48 × 60 мм за цикл
- Контроль процесса по свидетелю
- Загрузка подложек в специальные кассеты, размещаемые на вращающемся барабане
- Неравномерность осаждения плёнок по подложке / кассете / барабану: ≤ ± 5 %
- Система магнетронного напыления: четыре откидных магнетрона (5 кВт), постоянный источник питания + импульс
- Вспомогательный источник для проведения процессов предварительной очистки подложек или ассистирования в процессе напыления
- ИК-нагрев подложек с контролем температуры до 350 °С
- Рабочие газы: Ar, O2, N2
- Продувка и вентиляция камеры
- Вакуумная система рабочего модуля — криогенный и безмасляный форвакуумный насосы. Возможность установки турбомолекулярного насоса
- Предельный вакуум: 5,0×10-7 Торр
- Система автоматического контроля давления (APC)
- Автоматизированное компьютерное управление процессом напыления с контролем параметров процесса
Запросить в один клик
Заказать звонок