Настольная установка нанесения фоторезиста MSC150 / MSC200

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Настольная установка нанесения фоторезиста MSC150 / MSC200

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

MSC150 / MSC200 — компактная установка нанесения фоторезиста методом центрифугирования с возможностью проведения процесса по рецепту. Подходит для лабораторных и образовательных применений при создании МЭМС и прочих устройств.

Особенности

Распределение фоторезиста по рецепту, ручная загрузка пластин
Ручное дозирование фоторезиста шприцем или пипеткой
Работа с подложками диаметром до 150 или 200 мм
Сменные поддоны для поддержания чистоты чаши
Съемная крышка с отверстием под шприц

Нанесение ФР методом центрифугирования
Неоднородность нанесения: ≤ ±2 %
Поддерживаемые размеры пластин до 8 дюймов
Держатели пластин: вакуумные
Скорость вращения: 500 – 8000 об/мин
Максимальное количество шагов процесса: 10
Система управления: ПЛК с сенсорным дисплеем
Габариты (Ш х Г х В): 360 х 480 х 300 мм

Настольная установка нанесения фоторезиста MSC150 / MSC200

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование