Полуавтоматическая установка спреевого нанесения фоторезиста SC-815

SC-815 — установка для нанесения фоторезиста методом распыления на полупроводниковые пластины диаметром до Ø200 мм. Обеспечивает автоматическую обработку по рецепту с ручной загрузкой и выгрузкой пластин. Имеет одну станцию нанесения с системой автоматического распыления резистов, оснащенную рабочим столиком с функциями вращения и нагрева, обеспечивающими высокую равномерность толщины резиста и возможность нанесения толстых пленок. Нанесение резиста осуществляется при помощи высокоточной двухосевой сканирующей системы распыления. Модель SC-815 разработана для задач мелкосерийного производства и НИОКР.

Особенности

• Ручная загрузка пластин
• Автоматическое нанесение фоторезиста по рецепту
• Подача резиста при помощи электрического плунжерного насоса
• Максимальная скорость подачи ФР: 0,5 мл/с
• Контроль потока N₂ при помощи прецизионного РРГ
• Фильтр фоторезиста: 0,2 мкм
• Фильтровентиляционный модуль и вытяжка
• «Атомизация» резиста ультразвуком:
• распыление резиста при газа-носителя (N2)
• частота ультразвука: 100 – 120 кГц
• ручная регулировка высоты сопла