Установка для непрерывного выращивания кристаллов методом Чохральского (CCz) CPC1400

CPC1400 – оборудование для непрерывного выращивания слитков кремния и других материалов. Метод CCz – усовершенствованная версия классического метода Чохральского, позволяет выращивать слитки с высокой однородностью удельного сопротивления вдоль длины и более точным контролем параметров.

Особенности

• Рост слитков по непрерывному методу Чохральского (CCz) — с постоянной боковой подпиткой
• Возможность роста по RCz (с периодической дозагрузкой)
• Непрерывное легирование с точностью контроля массы около 0,01 г
• Система легирования для лучшего контроля удельного сопротивления
• Возможность получения равномерного распределения удельного сопротивления по длине слитка
• Производительность оборудования, не зависящая от диаметра тигля
• Стоимость теплового узла такого же размера на 20 % ниже, чем в RCz, классическом методе Чохральского с перезагрузкой шихты (для ТУ 36 дюймов)
• Поддерживаемое количество расплавленного кремния в тигле всегда на уровне около 200 кг в процессе CCz
• Возможность использования 100 % гранулированного кремния (FBR)