Установка выращивания кремниевых слитков методом бестигельной зонной плавки (FZ)

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Установка выращивания кремниевых слитков методом бестигельной зонной плавки (FZ)

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

GFZ2500 — установка для выращивания полупроводниковых слитков методом бестигельной зонной плавки (Floating Zone method, FZ). Применяется для проведения исследовательских работ, а также для производства и рафинирования кремниевых слитков ради получения монокристаллических изделий высокого качества, в том числе уровня силовых полупроводников.

Особенности

Производительность до 150 тонн FZ-слитков в год
Система визуального контроля процесса с ПЗС-камерой
Полуавтоматическое управление установкой, контроллер Siemens
Возможность применения различных методик легирования слитков

FZ-монокристалл кремния	c собственной проводимостью		c NTD-легированием	c легированием газом
Диаметр (дюйм)	До 8
Ориентация	<100><111><110>
Отклонение от ориентации	≤ 1°
Тип проводимости	N			N/P
Удельное сопротивление (Ом*см)	2000-8000	≥10000	Контролируемое	Контролируемое
Неоднородность сопротивления	≤ 50 %		≤ 5 %	≤ 30 %
Время жизни неосновных носителей заряда (мкс)	≥1000	≥1000	≥800	≥800
Содержание кислорода (ат/см³)	≤ 1,5*10^16
Содержание углерода (ат/см³)	≤ 1,5*10^16
Плотность дислокаций (см^-2)	<100
Микроразмерные дефекты	Нет

Характеристики продукта	Диаметр монокристалла	6-8 дюймов
	Длина монокристалла, мм	2500
	Чистота, %	99.99999999
Рабочая камера	Внутренний диаметр камеры, мм	902
	Высота, мм	1190
	Диаметр основного окна, мм	230
Верхняя приёмная камера	Диаметр, мм	500
	Высота, мм	2300
	Пневматическая блокировка двери	да
	Схема системы охлаждения	Концентрический двухслойный колодец
Нижняя приёмная камера	Диаметр, мм	500
	Высота, мм	2500
	Пневматическая блокировка двери	да
	Структура системы охлаждения	Концентрический двухслойный колодец
Верхний привод	Ход, мм	2600
	Скорость вращения основного вала, об/мин	0-30±1 %
	Скорость быстрого перемещения, мм/мин	337,7
	Диаметр основного вала, мм	100
	Внутреннее охлаждение вала	да
Нижний привод	Ход, мм	2600
	Скорость вращения основного вала, об/мин	0-30±1 %
	Скорость быстрого перемещения ОВ, мм/мин	337,7
	Диаметр основного вала, мм	100
	Ход внутреннего вала, мм	340
	Скорость быстрого перемещения ВВ, мм/мин	300
Позиционирование индуктора в плоскости оси	Ход индуктора по XY, мм	±25
Позиционирование индуктора в плоскости оси	Скорость быстрого перемещения индуктора по XY, мм/мин	300
Отражатель	Ход, мм	50
Отражатель	Скорость быстрого перемещения, мм/мин	20
Индуктор предварительного нагрева	Ход, мм	285
	Скорость быстрого перемещения, мм/мин	100
	Привод быстрого перемещения	Пневматический
Габариты установки	Ш х Г х В, мм	6600×4200×14000
Габариты установки	Масса, т	18
Вакуумная система	Вакуум, мБар	≤0,01
Вакуумная система	Натекание, мБар/ч	≤0,05

Установка выращивания кремниевых слитков методом бестигельной зонной плавки (FZ)

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование