Система электронно-лучевого испарения ULTECH SEE-7 (E-Beam Evaporation System)

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Система электронно-лучевого испарения ULTECH SEE-7 (E-Beam Evaporation System)

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Система SEE-7 предназначена для создания тонкоплёночных металлических покрытий.

Применение:

оптические покрытия;
зеркальные покрытия;
нанесение пленок из сплавов;
многослойное или однослойное нанесение традиционных материалов;
покрытие из легированного металла (совместное испарение);
осаждение оксида кремния;
осаждение металлов (Au, Ag, Al, Cr, Cu, Fe, Ni, Sn, Ti и т.д.).

Размер образцов	пластины 2″ — 6″
Производительность	зависит от размера камеры
Скорость вращения образца	5 — 12 об/мин
Электронно-лучевая пушка	одиночная/двойная и выдвижного/верхнего типа
Блок питания электронного луча	6 кВт/12 кВт
Электронно-лучевой источник	15 куб. см х 4 гнезда/25 куб. см х 4 гнезда/15 куб. см х 6 гнезд
Контроль осаждения	автоматический контроль толщины пленки
Предельный вакуум	≤ 3×10 — 7 Торр
Вакуумный насос	крионасос + роторный (опции: бустерный насос, безмасляный насос)
Управление процессом	управление с ПК (автоматическое)

Система электронно-лучевого испарения ULTECH SEE-7 (E-Beam Evaporation System)

Применение:

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование