Система импульсного лазерного напыления (лазерной абляции) сферического типа ULTECH PLD-S Series

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Система импульсного лазерного напыления (лазерной абляции) сферического типа ULTECH PLD-S Series

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Система PLD-S Series предназначена для создания тонкоплёночных покрытий из различных материалов, в том числе оксидных соединений.

Функциональные возможности:

автономная система;
осаждение эпитаксиальных пленок, многослойных гетероструктур и сверхрешеток;
совместимость с кислородной средой для осаждения оксидных пленок.

Применение:

возможность фокусировки мощного импульсного лазерного луча на мишени;
осаждение оксидных соединений в кислородной среде;
осаждение ферромагнитных/диэлектрических/магниторезистивных материалов.

Форма камеры	сферического типа
Размер образца и производительность	одна пластина размером 2″
Количество мишеней	до 4 шт.
Нагреватель	макс. 850 °С
Вращение мишени
Предельный вакуум	≤ 5×10 — 6 Торр
Вакуумный насос	турбомолекулярный + роторный
Управление процессом	ручное

Система импульсного лазерного напыления (лазерной абляции) сферического типа ULTECH PLD-S Series

Функциональные возможности:

Применение:

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование