Автоматическая установка отмывки пластин после механической обработки CMP clean 300A

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Автоматическая установка отмывки пластин после механической обработки CMP clean 300A

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

CMP clean 300A — полностью автоматическая установка отмывки после процессов механической и химико-механической обработки. Позволяет проводить отмывку в различной химии, чистку щетками, а также сушку пластин.

Особенности

Полный автоматический цикл «мокрая загрузка — сухая выгрузка»
Линейная конфигурация на шесть рабочих позиций
Регулируемые скорости вращения щёток и центрифуги
Фильтрация DIW и FFU в зонах отмывки и сушки

Работа с пластинами диаметром 4–12 дюймов
Скорость вращения щёток до 400 об/мин
Скорость центрифуги до 2000 об/мин
Управление: ПЛК + сенсорный экран
Габариты (Ш×Г×В): 2500 × 1200 × 2000 мм
Масса: 1600 кг

Автоматическая установка отмывки пластин после механической обработки CMP clean 300A

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование