Автоматическая установка для групповой жидкостной химической обработки пластин AWB-200

AWB-200 — полностью автоматическая система для групповой жидкостной обработки, разработанная для серийного производства. Идеально подходит для интеграции в производственные линии, где необходимы высокая производительность и максимальная надежность. Широко применяется в таких высокотехнологичных отраслях, как полупроводниковая промышленность, производство МЭМС и микроструктур, обеспечивая стабильное качество и эффективность процессов.

Особенности

• Эффективные системы рециркуляции и фильтрации химических реагентов
• Мониторинг и видеозапись процесса
• Простота обслуживания
• Возможность автоматического смешивания, нагрева и подачи химических реагентов
• Различные процессы травления, включая оксидное, нитриды, поликристаллы, металлы и силициды