Автоматическая установка утонения обратной стороны пластин BT-200A / BT-300A

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Автоматическая установка утонения обратной стороны пластин BT-200A / BT-300A

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

BT-200A / BT-300A — полностью автоматическая установка для прецизионного утонения обратной стороны пластин из различных материалов (Si, SiC, GaAs, GaN, сапфир, ...). Процесс утонения — автоматический, с загрузкой и выгрузкой пластины в кассетах. Установка предназначена для серийного производства.

Особенности

Полностью автоматическая система с кассетной загрузкой и выгрузкой пластин
Работа с пластинами до 200 мм (BT-200A) или до 300 мм (BT-300A)
Возможность установки двух шпинделей для быстрой и прецизионной шлифовки
Встроенная автоматическая система измерения толщины пластины
Встроенная система правки шлифовального диска
Встроенный модуль отмывки и сушки пластин
Минимальные повреждения поверхности и внутренние напряжения пластины после утонения
Высокий выход годных и высокая производительность

	BT-200A	BT-300A
Максимальный размер пластин	Ø200 мм	Ø300 мм
Размер шлифовальной головы	Ø203 мм	Ø303 мм
Мощность шпинделя шлифовальной головы	6 кВт	9,5 кВт
Мощность шпинделя стола	0,75 кВт	1,5 кВт
Скорость вращения шпинделя	0-6000 об/мин	0-4000 об/мин
Скорость вращения стола с пластиной	0-260 об/мин	0-380 об/мин
Скорость подачи головы по оси Z	0,1-30000 мкм/с	0,1-30000 мкм/с
Точность измерения толщины	±1 мкм	±1 мкм
TTV пластин (Si)	2 мкм (200 мм)	3 мкм (300 мм)
Габариты	2500×1650×1980 мм	3000×1800×2170 мм
Масса	3900 кг	4500 кг

Автоматическая установка утонения обратной стороны пластин BT-200A / BT-300A

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование