Настольная установка проявления фоторезиста MSD100 / MSD150

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Настольная установка проявления фоторезиста MSD100 / MSD150

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

MSD100 / MSD150 — компактная установка проявления фоторезиста для лабораторных и образовательных применений. Обладает разными типами сопел нанесения реагентов-проявителей, позволяя подобрать подходящую методику для лучшего удовлетворения требованиям процесса.

Особенности

Автоматическое проявление фоторезиста по рецепту
Ручная загрузка пластин
Автоматическое дозирование химии из двух линий подачи
Работа с подложками до Ø100 или Ø150 мм
Конфигурируемые сопла для распыления реагентов (секторальное или коническое) или налива лужи
Линия подачи азота для сушки пластин

Две линии подачи химических реагентов
Поддерживаемые размеры пластин до Ø150 мм
Скорость вращения: 0 — 2000 об/мин
Держатели пластин: вакуумные
Система управления: ПЛК с сенсорным дисплеем
Габариты (Ш х Г х В): 440×460×560 мм

Настольная установка проявления фоторезиста MSD100 / MSD150

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование