Полуавтоматическая установка быстрого отжига пластин до 200 мм RTP-200

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Полуавтоматическая установка быстрого отжига пластин до 200 мм RTP-200

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

RTP-200 — система для термической обработки пластин в вакууме или инертной среде для различных процессов, таких как: быстрый термический отжиг, окисление, образование диэлектрической пленки, послеимплантационный отжиг, пайка эвтектическим сплавом (реактивная пайка металлов), образование силицидов (TiSi, CoSi...), образование соединения кремния с металлом и др. в условиях как лабораторного, так и мелкосерийного производства.

Размер образцов и пропускная способность	Одна пластина размером до 200 мм
Температура нагревателя	До 1250 °С
Температурная неравномерность	±3 °С
Технологические газы	До трех каналов (контролируются регуляторами массового расхода)
Предельный вакуум	≤5×10^-3 Торр (1×10^-6 Торр опционально)
Вакуумный насос	Роторный (турбомолекулярный, безмасляный)
Управление процессом	Ручное

Полуавтоматическая установка быстрого отжига пластин до 200 мм RTP-200

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование